Precíziós tisztítás és felületKezelés
Professzionális tisztítási és felületkezelési megoldások nyújtására specializálódtunk fejlett folyamattechnológiákhoz. Az iparágon belüli stratégiai partnerek erőforrásainak integrálásával együttműködve átfogó szolgáltatási támogatást nyújtunk ügyfeleinknek. Partnereink több mint 20 éves gyakorlati tapasztalattal rendelkeznek a félvezetők területén, a 14nm-es csomópontig műszaki szakértelemmel felszerelt csapatokkal. Megbízhatóan képesek tisztítási és felületkezelési szolgáltatásokat nyújtani a 8 hüvelykes és 12 hüvelykes ostyalapokhoz, beleértve az olyan folyamatokat, mint a fizikai gőzfázisú leválasztás (PVD), a kémiai gőzleválasztás (CVD), a maratás és az ionbeültetés.
Szolgáltatási hídként működve kihasználjuk partnereink kiforrott minőségirányítási rendszereit és érzékeny szolgáltatási képességeit, hogy segítsünk az integrált áramköröket és a széleskörű félvezetőket gyártó ügyfeleinknek megbirkózni a szigorú minőség-ellenőrzési és folyamati kihívásokkal, hatékony és stabil szolgáltatási támogatást nyújtva.
Precíziós tisztítási esettanulmányok
A precíziós mosás utáni mintavizsgálatnak, a felületen a részecskeszintnek és a fémion maradék szintjének meg kell felelnie a jelenlegi 28 nm-es eljárás követelményeinek.
-
Előtt -
Után
-
Előtt -
Után
-
Előtt -
Után
-
Előtt -
Után
Precíziós tisztítási és helyreállítási folyamat
-
Bejövő ellenőrzés
Bejövő ellenőrzés
Ellenőrizze a megjelenést, a műszaki adatokat és a sérüléseket.
-
Maszkolás
Maszkolás
Védje a nem{0}}kezelt területeket a korróziótól.
-
Vegyi csíkozás
Vegyi csíkozás
Pontosan távolítsa el a régi bevonatokat.
-
Öblítés/Áztatás
Öblítés/Áztatás
Távolítsa el a vegyszermaradványokat tiszta vízzel.
-
Maszkolás
Maszkolás
Védje a területeket a homokfúvástól.
-
Homokfúvás
Homokfúvás
Állítsa be a paramétereket a cél érdesség eléréséhez.
-
Méretezés és ellenőrzés
Méretezés és ellenőrzés
Mérje meg és javítsa a méreteket a specifikációnak megfelelően.
-
Termikus permetezés
Termikus permetezés
Hordjon fel{0}}kopásálló bevonatot íven vagy plazmán keresztül.
-
Nagynyomású{0}}mosás
Nagynyomású{0}}mosás
Távolítsa el a nagy felületű részecskéket.
-
Ultrahangos tisztítás
Ultrahangos tisztítás
Végezzen precíziós tisztítást a finom részecskék eltávolításához.
-
Tisztatéri szárítás
Tisztatéri szárítás
Alaposan szárítsa meg az alkatrészeket egy Class 100 tisztatéri sütőben.
-
Végső ellenőrzés
Végső ellenőrzés
Végezzen átfogó ellenőrzéseket a megfelelőség biztosítása érdekében.
-
Csomagolás
Csomagolás
Vákuumcsomag alkatrészek az ügyfél igényei szerint.
-
Szállítási audit
Szállítási audit
Ellenőrizze a mennyiséget és a csomagolás sértetlenségét.
-
Végső szállítás
Végső szállítás
Jelentések készítése és kézbesítés.
Szolgáltatási képesség
► 5000m2(55000 nm) tiszta műhelyterület.
► Több mint 50000 darab/hó kezelési képesség.
► 365 nap folyamatos és hatékony szolgáltatás.
► Különböző termékek, különböző eljárások.
►8 vezető feldolgozósor, beleértve a következő technológiákat:
- Kémiai tisztítás/csupaszítás, Fizikai sztrippelés
- ARC-spray, plazmaspray, bevonatolás, textúrázás, porszívózás és csomagolás, nagyjavítás stb.
Technikai képesség
► Eljárás: 14 nm-es fejlett folyamat
► Szolgáltatási kör: 4 hüvelyk, 6 hüvelyk, 12 hüvelyk félvezető alkatrészek
► Szervizfolyamat: PVD/CVD/ETCH/IMPLANT/LITHO
► Szigorú minőség-ellenőrzés: Kiváló{0}}szabványos precíziós tisztítási technológia