Ruténium Target

Antioxidáns,{0}}korrózióálló és egyenletesen film-képző, rendkívül megbízható vékony{2}réteg-leválasztási megoldást kínál félvezető- és adattárolási alkalmazásokhoz.

A ruténiumporlasztó céltárgy egy platinacsoportba tartozó nemesfém porlasztó, amelyet nagy-tisztaságú ruténiumból (Ru) finomítással, olvasztással, kovácsolással és precíziós megmunkálással gyártanak. Elsősorban fizikai gőzleválasztásos (PVD) magnetronos porlasztási eljárásokban használják. Ez a termék magas olvadásponttal, nagy keménységgel, kiváló oxidációs ellenállással és kémiai stabilitással rendelkezik, lehetővé téve egyenletes és sűrű ruténium filmek előállítását. Széleskörű alkalmazásokat talál a fejlett félvezető memóriában, az integrált áramkörök összekapcsolásában, a diffúziós akadályrétegekben, valamint az adattároló és megjelenítő eszközökben.

A szálláslekérdezés elküldése

Termékleírás

Ez a ruténium céltárgy sorozat nagy-tisztaságú ruténium nyersanyagokból készül, és ívolvasztási és szemcsefinomítási eljárásokkal nagy sűrűséget és egyenletes mikrostruktúrát ér el. A termékek különféle konfigurációkban állnak rendelkezésre, beleértve a síkcélokat és a forgó céltárgyakat, és támogatják az indium-kötő/rugalmas test-kötő hátlap szolgáltatásait, így alkalmasak egyenáramú porlasztásos alkalmazásokhoz.

Funkció

Nagy tisztaságú, hagyományos minőségű, ultra{0}}nagy tisztaságú specifikációkkal kapható.
Nagy keménység, kiváló kopásállóság, valamint kiváló oxidáció- és korrózióállóság.

Túl magas olvadáspont kiváló magas hőmérsékleti stabilitással{0}}.
A film egyenletes lerakódást és nagy sűrűséget mutat, így alkalmas fejlett félvezető-gyártási folyamatokhoz.

Specifikációk és modellek

Személyre szabott méretek, vastagság, tisztaság vagy műszaki adatok miatt forduljon hozzánk bizalommal. Személyre szabott anyagmegoldásokat tudunk biztosítani a porlasztóberendezések, a bevonatkövetelmények és a méretspecifikációk alapján.

Osztályozási dimenzió	Termék típusa	Alapvető jellemzők
Tisztasági fokozat	Különböző tisztasági fokozatok	Általános-cél félvezetőkhöz, kijelzőkhöz és memóriaeszközökhöz.
A termék formátuma	Kör alakú sík ruténium célpont	Szabványos specifikációk, kompatibilis a legtöbb porlasztó berendezéssel.
	Téglalap/tömb{0}}alakú ruténium céltárgy	Alkalmas nagy{0}}felületű bevonatokhoz.
	Forgó ruténium célpont	Alkalmas nagy-felületű, nagy-hatékonyságú lerakásra.

Alkalmazás

Félvezetők: DRAM/MIM kondenzátorelektródák, diffúziós gátrétegek összekapcsolása.
Speciális tárhely: mágneses tároló, fázis-memóriaváltás, rezisztív memória.
Integrált áramkör: réz összekötő magréteg, záróréteg és logikai eszköz.
Megjelenítő eszközök: lapos{0}}képernyők, OLED vékony{1}}filmelektródák.
Optoelektronika és fotovoltaik: optikai bevonatok, fotovoltaikus cellák funkcionális rétegei.
Precíziós elektronika: Kopásálló-elektromos érintkezők, vastag-filmellenállások, érzékelők.

Népszerű tags: ruténium cél, kínai ruténium célgyártók, beszállítók, gyár