Porlasztó célpontok

A porlasztó célpontokat a fizikai gőzfázisú leválasztási (PVD) eljárásokban használják vékonyréteg-gyártáshoz. A portfólió nagy-tisztaságú arany-, platina- és ruténium-céltárgyakat, valamint félvezető eszközöket, elektronikus alkatrészeket, érzékelőket és funkcionális bevonatokat tartalmaz.
Az ellenőrzött tisztasági szintek, a mikrostruktúra-kezelés és a precíziós célgyártás révén az anyagok stabil porlasztási viselkedést és egyenletes filmleválasztási teljesítményt biztosítanak a mikroelektronikai gyártásban.

A szálláslekérdezés elküldése

Fő termékek

Nagy-tisztaságú aranycélok

Olvass tovább

Platina célpontok

Olvass tovább

Ruténium célpontok

Olvass tovább

Jellemzők

A nemesfém céltárgyakat egységes belső mikrostruktúrákkal biztosítjuk, hogy minimalizáljuk a porlasztás során keletkező részecskeképződést, biztosítva a folyamatos és stabil filmminőséget.

Magas tisztaságú
Nagy sűrűségű
Egységes szemcseszerkezet

Stabil porlasztási teljesítmény
Jó filmkonzisztencia
Testreszabható méretek és ragasztás

Porlasztásos célpontok anyagok tulajdonságai

Kategória	Leírás
Anyagrendszerek	Nemesfém lerakódási célok
Termék űrlapok	Síkcélok és testreszabott geometriák
Ötvözetrendszerek	Nagy-tisztaságú arany, platina és ruténium anyagok
Teljesítmény	Stabil porlasztási folyamat megbízható filmminőséggel és tapadóképességgel
Folyamatok	Fizikai gőzlerakódás (PVD)
Dimenziószabályozás	Precíziós alakítás szabályozott tűrésekkel
Ellátási formátum	Szabványos méretek és felszereltség{0}}alapú testreszabás

A porlasztás különböző iparágakban alkalmazható anyagokat céloz meg

Félvezetők és IC-k:Vezetőképes rétegek, zárórétegek és magrétegek lerakására használják ostyagyártás során.
Mágneses adathordozó:A ruténium (Ru) célpontokat elsősorban a mágneses adathordozók és HDD-k alsó rétegeinek előkészítésében alkalmazzák.
Érzékelők és MEMS:A platina (Pt) és arany (Au) céltárgyak alkalmasak vékony{0}}film-lerakásra érzékelőelektródákra, MEMS-ekre és precíziós tesztelő alkatrészekre.
Optoelektronikai eszközök:Optikai alkatrészekben és fénykibocsátó eszközökben fémbevonatokhoz és elektródák leválasztásához használják.
Precíziós elektronikai alkatrészek:Megfelel a gyártási követelményeknek a felületi vezetőképességre, védelemre és számos elektronikus alkatrész funkcionális bevonására vonatkozóan.